多元多层复合膜论文

多元多层复合膜的制备及性能研究
论文摘要本文阐述了多弧离子镀技术的原理﹑特点﹑应用及发展现状，并对TiN﹑CrN﹑TiCrN薄膜进行了综述。采用自制XH800型多弧离子镀设备在YG6硬质合金表面制备了TiN薄...