多元复合论文

论文摘要本文对脉冲偏压电弧离子镀（TiMe）N多元复合硬质薄膜进行了研究,选用电负性与Ti元素存在不同程度差异的过渡金属Nb、Cr、Zr作为添加元素,在其它工艺参数相同的条件下...