物镜论文

火炮同步精度测试系统研究
论文摘要火炮同步精度是指火炮在水平或俯仰方向上转动一定角度时,瞄准轴与炮轴是否同步转动了相应的角度,是对火炮瞄准精度更进一步的检测。本文提出一种火炮同步精度的测试方法,可以满足...
极紫外光刻机工件台精密机械及控制相关技术
论文摘要极紫外光刻技术(EUVL)被称为最有发展潜力的下一代光刻技术,有望接替光学光刻,成为45nm以下光刻产业的主流技术。因而,该技术也是目前国际上先进光刻领域研究的热点。工...