二次离子质谱论文

二次离子质谱仪的原理及在半导体产业中的应用
论文摘要二次离子质谱（SIMS）是离子质谱学的一个分支,是表面分析的有利工具。其特点是高灵敏度和高分辨率。本论文对于掺杂元素的深度分布分析发现可以利用SIMS对掺杂元素的极高灵...