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采用AFM加工大范围微纳米聚合物结构的实验研究
论文摘要近些年来,人们对AFM(原子力显微镜)的研究越来越多,尤其是AFM从测量领域扩展到加工领域以后,利用AFM进行微纳米结构的加工研究,已经成为微纳米加工中重要的一个研究领...