二维位移测量论文

论文摘要随着科学技术的迅速发展,精密检测技术得到了越来越广泛的应用。特别是位移检测技术,随着现代工业的发展,逐渐朝着高精度、大量程和多维位移直接测量的方向发展,同时要求检测系统...

论文摘要本论文以研究大行程、高精度定位平台为主要目的,结合浙江省科技计划（国际合作）项目“纳米级超精密定位平台的研制”（No.2004C24003）,研制了以平面电机及超磁致伸...