二氧化钒粉末论文

二氧化钒粉体和薄膜的制备工艺研究
论文摘要本论文研究了以V2O5为原料,通过化学液相沉淀法再加真空热处理法制备未掺杂和掺钨VO2粉体的工艺技术,在此基础上以所制备粉体为原料制作VO2靶材,通过磁控溅射工艺再加真...