二氧化硅薄膜论文

中频反应磁控溅射制备二氧化硅薄膜的工艺研究
论文摘要二氧化硅薄膜具有良好的绝缘性、稳定性和机械特性,同时又是一种实用的低折射率材料,可以作为绝缘层、保护膜、钝化膜或光学薄膜,广泛应用于半导体、微波、光电子以及光学器件等领...
面向光集成的光波导材料制备与参数测量方法研究
论文摘要集成光波导器件作为光通信中最重要的基础性部件之一,随着光通信技术的飞速发展,受到人们越来越多的重视,而集成光波导材料是器件的基础,其光学性能很大程度上决定了器件性能。新...
磷硅酸盐波导材料的溶胶—凝胶法制备
论文摘要溶胶-凝胶（Sol-gel）技术具有制备过程可在常温常压下进行,所制薄膜纯度高、分布均匀,成本低,所需设备简单,而且能够制备有机/无机混合材料,使材料功能多样化等优点;...