二元光学器件论文

基于扫描白光干涉法的二元光学器件表面误差分析
论文摘要随着二元光学器件(BinaryOpticalElement)在诸如空间技术、超精密加工、微光机电系统、计算机技术、信息处理、光纤通信、生物医学、国防军事等众多领域广泛应...
八阶二元光学器件的光刻技术研究
论文摘要本文介绍了二元光学的发展状况以及制作二元光学器件的主要方法，特别是对激光直写制作掩模、光刻和蚀刻成型技术进行了详细的分析与研究。首先针对红外折／衍混合光学系统中八台阶二...