二元光学元件论文

投影光刻系统套刻对准技术的研究
论文摘要现代光学和IC产业的发展要求光学器件的微型化、阵列化和集中化，从而产生了微光学技术。微光学技术是光学与微电子学、微机械学相结合渗透的一个学科，是研究亚微米级尺寸光学元件...
数字头盔显示及其关键技术研究
论文摘要头盔显示器是现代显示技术中的一种全新技术,在增强显示、虚拟现实以及立体显示等方面有非常重要的应用。高分辨率图像重构技术的发展、二元光学理论和设计的完善以及全息技术的成熟...