磁镜论文

非平衡磁控溅射沉积系统放电特性和沉积TiN_x薄膜应用研究
论文摘要非平衡磁控溅射沉积技术（UnbalancedMagnetronSputtering,UMS）目前得到广泛关注,能够得到比较高的离子/原子到达比（Ion-to-atomA...