防微振设计论文

微电子厂房结构微振动响应研究
论文摘要随着科技的快速发展,趋于超精密化的精密仪器在诸如光学、微电子、半导体等产业广泛应用。微振动已经成为影响其正常工作的关键因素,防微振技术也应运而生。结构防微振是一个十分复...