反溅射论文

SiO_x渐变折射率薄膜与ZnO透明导电薄膜的反应磁控溅射工艺及机理研究
论文摘要光学薄膜被广泛应用于科研、国防军事以及民用产品等各个领域。随着光通信、平板显示等技术的出现与发展,以及军事、科学研究等领域新的需求,对光学薄膜性能的要求越来越高,对光学...