反馈控制技术论文

适于纳米定位的反馈控制技术的研究
论文摘要随着纳米技术新时代的到来,微小位移量及微小物体几何形状测量已经进入了纳米、埃米量级,同时,现代精密加工技术的发展要求位移测量技术能在比较宽的量程上有极高的分辨率和很高的...