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基于多孔硅的光学传感器的研究
论文摘要由于多孔硅比表面积大、易于表面修饰以及与传统IC工艺的兼容性,使其作为一种全新的材料应用于传感领域中。然而多孔硅对物质没有选择性,任何进入多孔硅孔道中的物质都可以改变多...