反射式光学系统论文

具有二元光学校正元件的反射式光学系统研究
论文摘要二元光学是基于光波的衍射理论,利用计算机辅助设计,并利用微电子技术中的超大规模集成电路制作工艺,在片基上(或传统光学元件表面)刻蚀产生多个台阶深度的浮雕结构的衍射光学元...