反向窄沟道效应论文

小尺寸MOS器件阈值电压的三维建模与仿真研究
论文摘要近年来,MOS器件小尺寸效应的建模与仿真技术日趋得到了学者们的广泛重视。其中,短沟道效应、窄沟道/反向窄沟道效应成为研究的重点,但现有的一维和二维模型难以准确表述它们之...