反应溅射镀膜机论文

反应溅射镀膜机的PEM自动控制系统
论文摘要根据磁控溅射反应的原理,由迟滞回线可以得出,要想获得较快的沉积速率和一定化学配比的高质量的薄膜,就要使磁控反应的位置在迟滞回线中的过渡区域,即在金属模式和化合模式之间拐...