反应激波刻蚀论文

单晶硅反应激波刻蚀试验研究
论文摘要理论和试验研究表明,短脉冲有限幅值超声波在液体中传播时,由于传播的非线性影响,与材料表面相互作用时会产生冲击波或应力波,一般称为激波,又称震波,激波在液体介质中具有瞬时...