反应离子刻蚀论文

基于纳米压印技术的大面积高密度光栅的研制
论文摘要20世纪末21世纪初,纳米技术的迅猛发展将对社会各行业的科技进步及人类生活产生深远影响,预计将带来第五次技术革命。在这样的大背景下,半导体制造行业又向着传统光学光刻极限...
硅基二氧化硅型阵列波导光栅的研制
论文题目:硅基二氧化硅型阵列波导光栅的研制论文类型:博士论文论文专业:物理电子学作者:周立兵导师:罗风光关键词:阵列波导光栅,硅基二氧化硅,复用,解复用器,光束传输方法,波导应...