反应离子束刻蚀论文

微光学陀螺仪低损耗波导的设计与制造工艺研究
论文摘要高精度、高可靠性、重量轻、小型化是惯性导航系统追求的主要目标。陀螺仪作为捷联惯导系统的重要组成部分，成为各国重点发展的高科技军事和民用技术。微光学陀螺仪(MOG：mic...