反应离子束蚀刻论文

八阶二元光学器件的光刻技术研究
论文摘要本文介绍了二元光学的发展状况以及制作二元光学器件的主要方法，特别是对激光直写制作掩模、光刻和蚀刻成型技术进行了详细的分析与研究。首先针对红外折／衍混合光学系统中八台阶二...