反应热化学气相沉积论文

反应热CVD法制备微晶硅锗薄膜及其太阳电池应用研究
论文摘要为了降低薄膜太阳能电池的发电成本,进一步提高电池转换效率至关重要,提高电池的光谱响应范围是一个提高效率行之有效的方法。硅锗材料具有比硅材料更好的优势,在硅中加入锗有两个...