反应直流磁控溅射论文

基于二氧化钒相变的二维可调带隙光子晶体
论文摘要二氧化钒（VO2）是一种具有相变特性的功能性材料,通过加热或载流子注入的方式,VO2会发生半导体相到金属相的可逆相变,在相变过程中,VO2的电阻率、光学常数等物理性质会...