发射光谱监测论文

论文摘要随着现代工业的发展,各种功能薄膜越来越多地应用到各个领域；磁控溅射镀膜技术不仅具有沉积温度低、薄膜附着性好,均匀性好、密度高、杂质少,膜的厚度可以控制,操作简单等优点,...