发射光谱诊断论文

论文摘要由射频放电产生的低气压容性耦合等离子体已在微电机系统、集成电路制造等微细制造领域中得到了广泛的应用。在射频放电中,对电压进行脉冲调制,使放电参数调节更加灵活,能够提高对...

论文摘要本文在射频容性耦合等离子体放电基础上,采用实验观测,探针和光谱诊断等研究方法,对尘埃等离子体进行了多方面的研究。本文工作主要包括以下一些内容:第一章介绍了尘埃等离子体的...

论文摘要空心阴极放电是一种既不同于正常辉光放电又不同于反常辉光放电的特殊放电形式,它以其特殊的阴极结构而得名。由于其特有的各项性质,使其在薄膜制备、电光源、显示器件等各个领域中...

论文摘要提高金属管内表面的硬度、耐磨性、抗蚀性等性能有着重要的工业应用价值。我们针对内径小于10mm的金属管开发了一种利用直流辉光等离子体的金属管内表面改性技术。在金属管的中心...