发射探针论文

溅射法镀膜等离子体诊断的研究
论文摘要等离子体作为“物质的第四态”从近代开始被人们所研究、利用,从工业上的镀膜、刻蚀、渗碳等处理方法,到航空航天领域对空间状况的研究等等,都离不开等离子体。为了更好地对等离子...