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非对称流道无阀压电泵的理论与试验研究
论文摘要压电泵从本质上来说是一种利用压电陶瓷逆压电效应来进行驱动的新型驱动器。压电泵作为MEMS技术成长的一个重要方面,其所具备的体积微小、精度高、响应快速等优点,在医疗制药、...