非晶碳氮薄膜论文

纳米结构碳氮基薄膜的设计与机械性能
论文摘要本文设计并采用直流磁控溅射技术制备了两相纳米结构碳氮膜、类富勒烯（Fullerenelike,FL）结构碳氮、含钛非晶碳氮薄和碳氮基纳米多层膜,并对碳氮基薄膜的组织结构...