非金属芯线论文

紫外光固化非金属芯线金刚石线锯研究
论文摘要在半导体工业的大尺寸晶圆切割中,固结磨粒线锯以无可比拟的优点被认为是最有前途的切割方法之一。现有工业方法通过减小金属线锯丝的直径来降低切缝损失,减少生产成本,但其强度降...