非球面测量论文

二维PSD自动对焦非球面测量系统
论文摘要随着非球面元件的广泛应用和非球面加工技术的发展,现代工业对非球面元件的面形参数检测提出了更高的要求。本文是在线阵光电敏感器件PSD(PositionSensitiveD...
非球面拼接测量中偏置误差作用机理与拼接方法研究
论文摘要大口径非球面光学元件是空间光学系统中起支撑作用的关键部件,对大口径非球面面型的精确测量则直接关系到大口径非球面的精密制造与有效应用。然而目前测量大口径非球面面型的普遍方...