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补偿法高精度光学非球面检测技术
论文摘要补偿法是高精度光学非球面检测的一种主要方法,本文针对补偿法检测非求面时必需解决的几个关键技术进行了研究,为高精度补偿器的设计与研制成为提供了有力的技术支持。补偿法检测非...
干涉法实时检测浅度非球面的方法研究
论文题目:干涉法实时检测浅度非球面的方法研究论文类型:硕士论文论文专业:光学导师:王淑荣关键词:非球面检测,波面拟合,波面相减,绝对测量文献来源:中国科学院研究生院(长春光学精...