非球面镜论文

大型光学镜面相位恢复在位检测技术研究
论文摘要在详查卫星、天文望远镜和激光核聚变等光学领域快速发展的带动下,现代光学系统对大型光学镜面的需求与日俱增。大型光学镜面对于实现光学系统的高精度、高分辨率以及高功率有至关重...
极紫外光刻投影光学系统优化设计
论文摘要光刻技术及其在产业中的开发应用一直是业界最关注的焦点之一。极紫外光刻成为了下一代光刻技术最有力的竞争者。然而,要实现商业化,必须先克服技术上难关。光刻是大规模集成电路的...