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环式径向剪切干涉测量系统研究
论文摘要波面剪切干涉技术是利用待测波面自身的干涉,它是利用一定的装置将具有空间相干性的待测波面分割成两个相同或相似的波面,并在这两个波面之间产生一定的空间错位,在其重叠区域产生...