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类镍钽软X射线激光用高反射镜的研究
论文摘要多层膜技术极大地提高了光学元件对极紫外光和软X射线的反射率,有力地促进了该波段光学系统的发展,已在天文学、显微成像、光刻、同步辐射应用以及X射线激光等领域得到了广泛的应...