分立式微变形镜论文

MEMS微变形镜测试及工艺防粘附技术研究
论文摘要采用表面加工工艺制作的MEMS分立式微变形镜具有集成度高、可实现批量生产等优点，成为MEMS微变形镜的研究热点。然而基于表面加工工艺的微变形镜工艺过程中的粘附问题将成为...