分子泵论文

无油真空机组的设计
论文摘要终端光学组件作为惯性约束聚变中激光传输的末端装置,承担着光束聚焦、频率转换、谐波分离等重要功能,其内部的KDP晶体等光学元件需工作在洁净真空环境。基于此,本文针对提出的...