氟掺杂论文

SiCOH低κ薄膜的ECR等离子体制备及F掺杂效应研究
论文摘要以十甲基环五硅氧烷（D5）为反应源、采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积（ECR-CVD）方法制备了介电常数较低、电学性能和热稳定性优良的SiCOH薄膜。通过反应源和薄...
胡杰：不同F含量导致星形Co(OH)F纳米晶体的磁性变化论文
本文主要研究内容作者胡杰,马凤仓,李文献,刘新宽,李伟,刘平（2019）在《不同F含量导致星形Co(OH)F纳米晶体的磁性变化》一文中研究指出：采用水热法制备氢氧化钴氟化物,通...