浮电容传感器论文

激光切割电容式Z浮微小电容检测系统的研究
论文摘要激光切割电容式Z浮用于在切割过程中实时检测工件表面高度变化,使切割头能跟随工件表面起浮做出相应位移调整,始终保证焦点处于理想位置,维持切割过程中离焦量恒定,从而控制切口...