富硅氮化硅薄膜论文

本文主要研究内容作者李婷婷,周炳卿,闫泽飞（2019）在《氮气流量对非晶SiNx到含有Si3N4晶粒的富硅-SiNx薄膜转变的影响》一文中研究指出：基于等离子体增强化学气相沉积...