富硅氧化硅论文

论文题目:离子注入掺Er富硅氧化硅材料研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:张昌盛导师:张峰关键词:离子注入,光致发光,富硅氧化硅,临界半径文献来源:中国科...