复合靶论文

论文摘要加速器产生的高能电子束打靶产生的X射线是辐照加工领域一种应用广泛的辐照源,但由于X射线转换效率较低,辐照功率高时靶中沉积的大量热对转换靶的设计提出了特殊的要求。本文从韧...

本文主要研究内容作者程奕天,邱万奇,周克崧,刘仲武,焦东玲,钟喜春,张辉（2019）在《低温反应溅射Al+α-Al2O3复合靶沉积α-Al2O3薄膜》一文中研究指出：低温沉积α...