复合圆盘形压电振子论文

论文摘要近年来,随着微机械电子科学的迅猛发展,微流体阀在化学分析与检测、生物工程、药物释放、微型化生产系统、集成电路芯片以及芯片实验室（Lab-on-Chip）等领域得到广泛应...