氟化类金刚石薄膜论文

氟化类金刚石薄膜血液相容性的研究
论文摘要用316L不锈钢（SU316L）作基片,以高纯石墨作靶、CHF3和Ar作源气体,采用反应磁控溅射法在不同射频功率、流量比R（CHF3/Ar）下制备了氟化类金刚石（F-D...