氟化类金刚石论文

论文题目:反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的结构和性能研究论文类型:博士论文论文专业:凝聚态物理作者:江美福导师:宁兆元关键词:氟化类金刚石,反应磁控溅射,拉曼光谱,硬度,...