俘获截面论文

High-k薄膜与硅接触的电学特性研究
论文摘要本文研究了Al/Al2O3/Si和Al/HfAlO/Si型的金属-氧化物-半导体（MOS）电容的电学特性。通过深能级瞬态谱（DLTS）和高频电容-电压（CV）测试,并配...