傅立叶变换红外光谱仪论文

傅立叶变换红外光谱议测量误差分析
论文摘要随着计算机科学的发展,傅立叶变换红外光谱仪在大气和海洋的测量中应用越来越广泛,并且对测量的精度要求越来越高,因此,分析它的测量误差来优化系统设计具有重大的意义。文章简要...
微纳深沟槽结构测量系统研究
论文摘要在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中,目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构。传统的测量方式很难甚至无法实现对深沟槽深度的测量,因此需要采用光学的方法对深沟...
微纳深沟槽结构光学反射特性与参数提取算法研究
论文摘要在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中,目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构,传统的测量方式无法实现对其深度的测量,因此需要采用光学的方法对深沟槽结构的尺寸...