腐蚀工艺论文

微通道板化学处理工艺研究
论文摘要微通道板(MCP)是一种先进的二维电子倍增器,是微光像增强器的核心部件,化学腐蚀处理是微通道板制造的关键工艺。研究MCP芯、皮料玻璃的腐蚀工艺参数,选取合适的化学腐蚀和...