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王迪:基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析论文
本文主要研究内容作者王迪,陈仲武,刘建民,高津平(2019)在《基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析》一文中研究指出:由于硫酸与双氧水混合溶液(SPM,Sulfuric-Perox...