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大气压介质阻挡放电聚合沉积氟碳有机纳米晶的研究
论文摘要等离子体具有利用电子、原子、离子、激发态分子等进行纳米结构组装或刻蚀的特点,在纳米技术一兴起就起着重要作用。它是晶态纳米结构成型的一种方便、有效、低成本的方法,可通过气...